Tergeo-EM Plasma Cleaner
Tergeo-EM plasma cleaner可滿足所有要求，從高速清洗電子光學鏡筒中嚴重污染的孔徑和電極，到溫和清洗石墨烯、碳奈米管、DLC（類鑽石碳）、碳纖維或在多孔碳網格上的TEM樣品。
配備了可安全用於氧氣的無油乾幫浦，支援氬氣、氧氣、氫氣、氮氣、環境空氣和其他專有製程氣體，兩到三個質量流量控制的氣體輸送端口可用於混合多種製程氣體。
配備了可安全用於氧氣的無油乾幫浦，支援氬氣、氧氣、氫氣、氮氣、環境空氣和其他專有製程氣體，兩到三個質量流量控制的氣體輸送端口可用於混合多種製程氣體。
◆ 可以同時容納兩個TEM樣品架。前連接器可以輕鬆更換，用以支援兩種以上不同類型的TEMS。
◆ 可乘載SEM和TEM樣品，兩個4″wafers或用於cryo-EM親水性處理的一百多個TEM網格。
◆ 唯一一款整合direct/immersion mode plasma cleaning（樣品浸入電漿）和 remote/downstream mode plasma cleaning（樣品放置在電漿外）的TEM/SEM 電漿清洗機。
◆ 獨特的pulsed mode操作可以產生極溫和的電漿來減少電漿強度用以精細樣品。
◆ 專利的plasma intensity sensor技術可即時監測電漿強度，並為使用者提供電漿強度的定量數據。它可以幫助使用者為不同類型的樣品設定正確的清潔配方。
◆ 可在TEM網格上沉積高密度 OH* 羥基官能基，並使TEM網格具有超親水性，適合Cryo-TEM和liquid in-situ TEM 應用。
◆ 支援 ThermoFisher (FEI)、JEOL、Hitachi 和 TESCAN 樣品架、cryo-em 自動裝載盒、SEM stud和任何支架上的常規TEM網格。
◆ 可乘載SEM和TEM樣品，兩個4″wafers或用於cryo-EM親水性處理的一百多個TEM網格。
◆ 唯一一款整合direct/immersion mode plasma cleaning（樣品浸入電漿）和 remote/downstream mode plasma cleaning（樣品放置在電漿外）的TEM/SEM 電漿清洗機。
◆ 獨特的pulsed mode操作可以產生極溫和的電漿來減少電漿強度用以精細樣品。
◆ 專利的plasma intensity sensor技術可即時監測電漿強度，並為使用者提供電漿強度的定量數據。它可以幫助使用者為不同類型的樣品設定正確的清潔配方。
◆ 可在TEM網格上沉積高密度 OH* 羥基官能基，並使TEM網格具有超親水性，適合Cryo-TEM和liquid in-situ TEM 應用。
◆ 支援 ThermoFisher (FEI)、JEOL、Hitachi 和 TESCAN 樣品架、cryo-em 自動裝載盒、SEM stud和任何支架上的常規TEM網格。
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