EM-KLEEN Remote In-situ Plasma Cleaner for SEM, FIB, XPS, SIMS, AES systems

◆ EM-KLEEN in-situ remote plasma cleaner可用於電子顯微鏡和其他類型分析儀器（如 SEM、FIB、TEM、XPS 和 SIMS）的樣品和真空室的即時清洗
◆ 能有效去除高真空或超高真空室內的碳氫化合物及氟碳化合物污染物，並提高極限真空度，並減少抽氣時間。
◆ 可以在表面成像和分析之前去除樣品表面的有機污染物。
◆ 該系統由具有電阻式液晶觸控螢幕控制器的嵌入式微型計算機和遠端電漿源組成。
◆ 尺寸較小，但整合了Pirani壓力感測器、電子可變氣體流量控制器、電漿強度感測器、溫度感測器和冷卻風扇。
◆ 控制器可儲存多達 60 個具有不同rf power、工作壓力、氣體流量率和清潔持續時間的配方。