SEMI-KLEEN UHV Plasma Cleaner
SEMI-KLEEN UHV remote plasma cleaner 是 SEMI-KLEEN 系列電漿清潔器的特殊版本，適用於超高真空 (UHV) 室和樣品清潔應用。
兩種控制氣流的方法：手動針閥或外部 MFCs。
SEMI-KLEEN 控制器可以驅動兩個外部 MFCs 並自動混合兩種製程氣體，如果使用外部 MFCs 來控制氣體流速，配方可以指定每個 MFCs 的氣體流速。
SEMI-KLEEN 控制器可以驅動兩個外部 MFCs 並自動混合兩種製程氣體，如果使用外部 MFCs 來控制氣體流速，配方可以指定每個 MFCs 的氣體流速。
◆ 電漿源體由玻璃管硬焊不銹鋼法蘭組成。
◆ 所有真空接頭均為玻璃-金屬硬焊或金屬-金屬接觸，源體內未使用聚合物密封。
◆ 電漿源的背面是一個 1/4" male or female VCR connector，前側法蘭為 CF2.75" (DN40CF) 不鏽鋼。
◆ 所有真空接頭均為玻璃-金屬硬焊或金屬-金屬接觸，源體內未使用聚合物密封。
◆ 電漿源的背面是一個 1/4" male or female VCR connector，前側法蘭為 CF2.75" (DN40CF) 不鏽鋼。
