蝕刻製程（Etching）

NANO-MASTER 的 DRIE 系統採用平面 ICP 源以產生高密度電漿。我們的系統能夠應用於 Cryo etch 和 Bosch 等製程，可以在晶圓上製造高深寬比的深入、陡 ...

NANO-MASTER的NRE-4000是一個獨立的反應離子蝕刻（RIE）系統，具有淋浴頭氣體分布和水冷的RF基板。它具有不鏽鋼櫃和一個從頂部打開的13英寸圓柱形鋁腔，可載入高達8 ...

NANO-MASTER的離子束研磨拋光系統為全自動化的系統，提供易用性，高重復性和可靠的性能，具有極好的均勻性。
各種樣品夾和離子源配置可進行各種不同的應用。NANO-MASTER離 ...