成長製程（Growth）
PA-MOCVD 系統
NANO-MASTER 開發了世界上第一個桌面型電漿輔助金屬有機化學氣相沉積 (PA-MOCVD) 系統，用於 GaN、InGaN 和 AlGaN 沉積過程。在這種獨特的系統中，使 ...
原子層沉積系統（Atomic Layer Deposition ）
NLD-4000是一款獨立的PC控制ALD系統，具有全自動化和安全互鎖功能，可用於半導體、光伏和MEMS應用中沉積氧化物和氮化物（例如AlN、GaN、TaN、TiN、Al2O3、Z ...