桌上型電漿清潔、蝕刻和灰化設備（Tabletop Plasma Cleaner, Etcher and Asher Equipment）
Tergeo 系列桌上型電漿系統包括基本型 Tergeo、Tergeo-plus、Tergeo-Pro和Tergeo-EM，是最先進的桌上型電漿清洗和蝕刻系統。這些系統專為研究、開發和小批量生產而設計，因其在各種應用中的多功能性、可靠性和便利性而受到學術和工業客戶的好評。
Tergeo Plasma Cleaner
典型應用：
◆ Wire bonding, flip-chip underfill, device encapsulation, and decapsulation ...
◆ Wire bonding, flip-chip underfill, device encapsulation, and decapsulation ...
Tergeo-EM Plasma Cleaner
Tergeo-EM plasma cleaner可滿足所有要求，從高速清洗電子光學鏡筒中嚴重污染的孔徑和電極，到溫和清洗石墨烯、碳奈米管、DLC（類鑽石碳）、碳纖維或在多孔碳網格上 ...
Tergeo-Plus Plasma Asher
和Tergeo電漿清洗機差別是樣品室大小和rf power，Tergeo-plus可以容納較大的樣品。
典型應用： ...
典型應用： ...
Tergeo-Pro Plasma system
比起Tergeo-Plus樣品室直徑和深度皆增加，RF power則相同。
典型應用： ...
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